特許
J-GLOBAL ID：201103021304564505

蛍光X線検出装置及び蛍光X線検出方法

発明者：
辻 幸一

辻 幸一 について

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駒谷 慎太郎

駒谷 慎太郎 について

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内原 博

内原 博 について

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坂東 篤

坂東 篤 について


出願人/特許権者：
公立大学法人大阪市立大学

公立大学法人大阪市立大学 について

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株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-097579
公開番号（公開出願番号）：特開2011-247882
出願日： 2011年04月25日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】X線レンズの集中スポットを小さくすることなく、蛍光X線分析の空間分解能をより向上させることができる蛍光X線検出装置及び蛍光X線検出方法を提供する。【解決手段】蛍光X線検出装置は、X線管(X線源)11からの一次X線を集中スポット(第1空間)に集中させる第1X線レンズ12の焦点の位置と、取り込みスポット(第2空間)からの蛍光X線を集光してX線検出器(検出手段)21に検出させる第2X線レンズ22の焦点の位置とを、集中スポット及び取り込みスポットが重なる範囲内で離隔してある。集中スポットと取り込みスポットとが重なった検出領域からの蛍光X線のみが検出され、検出領域の大きさが空間分解能となる。集中スポットの大きさが空間分解能となる従来の蛍光X線検出装置に比べて、蛍光X線分析の空間分解能を向上させることが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
X線源と、該X線源からのX線を、焦点を含む特定の大きさの第1空間に集中させる第1X線レンズと、試料へのX線の照射によって発生する蛍光X線の内、焦点を含む特定の大きさの第2空間からの蛍光X線を集光する第2X線レンズとを備え、前記第1空間と前記第2空間とを重ねておき、前記第2X線レンズが集光した蛍光X線を検出する蛍光X線検出装置において、 前記第1X線レンズの焦点の位置と、前記第2X線レンズの焦点の位置とを、前記第1空間及び前記第2空間の少なくとも一部が重なる範囲内で離隔してあること を特徴とする蛍光X線検出装置。
IPC (1件)：
G01N 23/223
FI (1件)：
G01N23/223
Fターム (9件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001SA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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