特許
J-GLOBAL ID：200903021072926415

X線分析装置及びX線分析方法

発明者：
辻 幸一

辻 幸一 について

, 
松田 晃典

松田 晃典 について

, 
堤本 薫

堤本 薫 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-182827
公開番号（公開出願番号）：特開2008-039772
出願日： 2007年07月12日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】試料内部の微小空間における元素分析を非破壊的に行なえるようにする。【解決手段】励起用X線を発生させる一次X線源1は、X線照射機構によってX線検出用導管5と接続されている。X線検出用導管5の基端部にはX線検出器9が結合され、試料7から放出された蛍光X線が先端部の開口から内部通路4を通ってX線検出器9に導かれるようになっている。X線検出用導管5内には、X線入射用導管2aを介して入射した一次X線ビームを受けて二次X線ビームを発生し、X線検出用導管5の先端部を経て試料に照射するための二次ターゲット3が備えられている。二次ターゲット3はX線検出用導管5の内側、かつその導管5内の内部通路4の外周にリング状に備えられており、先端部が傾斜面となっているため、二次X線ビームを効率よく試料方向に照射することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
X線ビームを先端から試料に照射するX線照射機構と、 試料から放出された蛍光X線を検出するX線検出器と、 基端部に前記X線検出器を備え、試料に対して前記X線照射機構と同じ側に配置され、先端から入射した蛍光X線を内部通路を通って前記X線検出器に導くX線検出用導管と、を備え、 前記X線照射機構の先端部と前記X線検出用導管の先端部は試料に前記X線ビームを照射し、試料からの蛍光X線が入射するように一つに合体されているX線分析装置。
IPC (1件)：
G01N 23/223
FI (1件)：
G01N23/223
Fターム (8件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001GA08 ,  2G001JA01 ,  2G001KA01 ,  2G001MA02 ,  2G001SA01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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