投影露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東哲也 , 齋藤和則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005739
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307448
特許番号：特許第4194160号
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】原版に形成されたパターンを被露光基板上に投影する投影光学系を有する投影露光装置であって、前記投影光学系の振動を計測するための少なくとも2個の振動計測手段と、前記被露光基板を搭載して前記投影光学系の光軸方向および光軸に垂直な方向に移動可能な基板ステージと、前記投影光学系の光軸方向の所定の位置と該被露光基板表面との相対位置を計測できる面位置計測手段と、前記基板ステージを使って前記被露光基板を前記投影光学系の光軸に垂直な任意の方向に所定の量移動および位置決めし、さらに前記振動計測手段による計測値と前記面位置計測手段の計測値を基に、前記被露光基板を前記光軸方向に移動および位置決めして該被露光基板表面を前記所定の位置と合致させる制御手段を備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) , G03F 7/20 ( 200 6.01) , G03F 7/23 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 516 A , H01L 21/30 526 Z , G03F 7/20 521 , G03F 7/23 H

引用特許：

出願人引用 (6件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097085 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142952 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-198325

全件表示

審査官引用 (1件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-097085 出願人：株式会社ニコン

前のページに戻る