特許
J-GLOBAL ID：201103022312882075

外観検査装置及び外観検査方法

発明者：
田中 秀明

田中 秀明 について

, 
千蔵 真也

千蔵 真也 について


出願人/特許権者：
株式会社サキコーポレーション

株式会社サキコーポレーション について


代理人 (2件)： 森下 賢樹 ,  青木 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-009342
公開番号（公開出願番号）：特開2011-149736
出願日： 2010年01月19日
公開日（公表日）： 2011年08月04日
要約：
【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。【解決手段】外観検査装置10は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体12を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体12を検査する。外観検査装置10は、被検査体12にパターンを投射する投射ユニット26と、パターンが投射された被検査体12のパターン画像に基づいて被検査体12の表面の高さ情報を生成する高さ測定部32と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部34と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体を撮像して得られる被検査体画像を使用して前記被検査体を検査する外観検査装置であって、 前記被検査体にパターンを投射する投射ユニットと、 前記パターンが投射された前記被検査体のパターン画像に基づいて前記被検査体の表面の高さ情報を生成する高さ測定部と、 前記高さ情報を用いて特定される前記被検査体画像上での前記部品の配置に基づいて前記被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部と、を備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/02 ,  G01N 21/956 ,  H05K 13/08
FI (3件)：
G01B11/02 H ,  G01N21/956 B ,  H05K13/08 U
Fターム (42件)：
2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065CC27 ,  2F065CC28 ,  2F065FF04 ,  2F065GG17 ,  2F065GG21 ,  2F065GG23 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM07 ,  2F065PP03 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC21 ,  2G051BA02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA08 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BC06 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD04 ,  2G051CD05 ,  2G051DA07
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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