特許
J-GLOBAL ID：201103022665758190
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148717
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341934
特許番号：特許第3916414号
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理室内で被処理基板に対して所定の処理を実施する複数の処理ユニットと、各処理ユニット間で被処理基板を搬送する搬送装置と、を有する基板処理装置本体と、
前記基板処理装置本体全体を制御する第1の制御部と、前記第1の制御部から出力される指令信号に基づいて前記複数の処理ユニットを個々に制御するとともに、前記複数の処理ユニットでの処理履歴を把握するために必要な情報を含む信号を前記第1の制御部に出力する第2の制御部と、を有する制御ボックスと、
前記第1の制御部と前記第2の制御部との間の信号通信回線に介装されたハブと、
前記ハブに接続され、前記第1の制御部と第2の制御部との間で授受される信号を前記ハブを介して取り込み、取り込まれた信号に含まれる、前記複数の処理ユニットでの処理の履歴を把握するために必要な情報を蓄積する情報蓄積部と、
前記情報の種類に応じて情報の蓄積頻度を選択する情報蓄積選択機構と
を具備することを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
G05B 23/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G05B 23/02 301 V
, H01L 21/30 502 G
