部材洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274071
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079191
特許番号：特許第3752983号
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被洗浄部材を取付け可能なラックと、該ラックを収納する装置本体と、該装置本体内の前記ラックに洗浄液を供給してラックとともに前記被洗浄部材を洗浄する洗浄液供給機構と、前記装置本体に収納された前記ラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構とを備えており、前記ラックは、前記被洗浄部材であるウェーハケースのケース本体、蓋及びウェーハ押えを取り付けるものであり、前記ラックは、前記被洗浄部材の各部品をセットする各挿入口と、取り付けた各部品が飛び出さないよう各挿入口を覆うように配された飛び出し防止板と、を有していることを特徴とする部材洗浄装置。

IPC (3件)：