ドレッシング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠 , 河井将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373534
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179603
特許番号：特許第3665523号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ドレッシング機能を有する砥粒と、この砥粒を固着する固着部材とを備えたドレッサーを用いて、化学的機械的研磨に用いた研磨パッドをドレッシングする際に、前記固着部材の電位を制御するドレッシング方法であって、前記固着部材の電位を、前記化学的機械的研磨に用いるスラリーのpHに応じて、前記固着部材の構成材料の電位-pH図で不活性態領域となる電位に制御することを特徴とするドレッシング方法。

IPC (2件)：