ウエハ貼着用粘着シート

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040873
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226647
特許番号：特許第4230080号
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】可塑剤を含有するポリ塩化ビニル系基材と、その上に形成されたビニルエステル系共重合体を含むエネルギー線硬化型粘着剤層とからなり、該ビニルエステル系共重合体が、該ビニルエステル系共重合体100重量部中に酢酸ビニルエステルから導かれる構成単位を50〜90重量部含み、エネルギー線照射前のエネルギー線硬化型粘着剤層の50°Cにおける弾性率が、4.0×104〜5.0×106Paの範囲にあることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート。

IPC (3件)：