特許
J-GLOBAL ID：201103029598456242
使用済レジスト用剥離液の再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305285
特許番号：特許第4144825号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】アルカノールアミン化合物を含有する使用済レジスト用剥離液の再生方法において、前記使用済レジスト用剥離液を蒸留し、得られた留出物にアルカリ化合物を配合し再蒸留してシアン化合物とアルカリ化合物との反応生成物を除去することを特徴とする使用済レジスト用剥離液の再生方法。
IPC (3件)：
G03F 7/42 ( 200 6.01)
, C11D 7/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/42
, C11D 7/32
, H01L 21/30 572 B
