特許
J-GLOBAL ID：201103030288770930

干渉検出装置を備えたクリーンロボット

発明者：
野村 章博

野村 章博 について

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山下 慎次

山下 慎次 について

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玉井 真史

玉井 真史 について

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村上 智

村上 智 について

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佐藤 忍

佐藤 忍 について

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鈴木 健生

鈴木 健生 について


出願人/特許権者：
株式会社安川電機

株式会社安川電機 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-577709
特許番号：特許第4269129号
出願日： 1999年07月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端部にウェハまたは液晶基板の被搬送物の受け渡しを行うフォークを保持し、且つ、水平方向に旋回または伸縮し得るロボットアームと、前記ロボットアームの下部に配設されると共に、前記ロボットアームを駆動する駆動モータと前記駆動モータに連結された減速機とよりなるアクチュエータを内部に収納するベース部と、前記ベース部を水平方向に直線移動させるように設けた直動案内装置と、前記ロボットアームおよび前記直動案内装置を駆動制御するロボットコントローラとを備えたクリーンロボットにおいて、 前記ベース部の内部に配置されると共に、前記ベース部の走行方向であるX軸と前記X軸に直角な水平方向のY軸と前記X軸と前記Y軸とに直角なZ軸の各軸の振動加速度を検出するよう前記各軸それぞれに配置された圧電型の加速度センサと、 前記各軸ごとの加速度センサの信号より400Hzから1500Hzの周波数成分の前記振動加速度を出力信号として取り出すバンドパスフィルタと、 前記バンドパスフィルタの出力信号が基準となるしきい値を超えたとき、前記フォークが周囲の物体と干渉したとして干渉検出信号を出力する前記各軸ごとの干渉検出手段と、 前記各軸ごとの干渉検出信号出力回路のうち、少なくとも1つが前記干渉検出信号を出力したときに、最終の干渉検出信号を出力する回路と、 前記最終の干渉検出信号を前記ロボットコントローラのサンプリング時間より長く保持するラッチ回路と、を備え、 前記ロボットコントローラが前記最終の干渉検出信号を検出すると前記アクチュエータの駆動モータ及び前記直動案内装置を停止させるようにしたことを特徴とするクリーンロボット。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B25J 5/00 ( 200 6.01) ,  B25J 19/06 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 5/00 E ,  B25J 19/06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (15件)
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-136027   出願人：テル・バリアン株式会社
  • 特開昭55-095110
  • 特開昭55-095110
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