特許
J-GLOBAL ID:201103032721386751

導電性ボールの搭載装置および搭載方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-069774
公開番号(公開出願番号):特開2000-269253
特許番号:特許第3781575号
出願日: 1999年03月16日
公開日(公表日): 2000年09月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】ボール供給部の導電性ボールをピックアップヘッドにより真空吸着してピックアップし、略円形状の基板に形成された複数の電子部品の電極に搭載する導電性ボールの搭載装置であって、前記ピックアップヘッドは前記略円形状の基板を複数区画に分割した分割区画のそれぞれをカバーする略矩形状の吸着面を有する吸着ツールを備えており、この吸着ツールの吸着面に前記電子部品の配列ピッチに対応した吸着部を形成し、且つこの吸着部に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔を形成し、また前記分割区画内の電子部品と対応した吸着部のみに限定して導電性ボールを吸着させる吸着限定手段を設け、この吸着限定手段は前記吸着ツールの下面に着脱自在に装着されて前記吸着部のうち前記分割区画内の電子部品に対応した吸着部以外の吸着部の吸着孔を閉塞するマスク部材であり、このマスク部材を前記吸着ヘッドの下面に装着して、前記ボール供給部の導電性ボールのピックアップと前記略円形状の基板への搭載を行うようにしたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
IPC (1件):
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/60
引用特許:
審査官引用 (7件)
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