薄膜引っ張り試験システム及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：久原健太郎 , 内野則彰 , 木村信行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220012
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035640
特許番号：特許第4567244号
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】薄膜の引っ張り試験をおこなう薄膜引っ張り試験システムにおいて、薄膜試験片の加工をおこなう加工用プローブと、前記薄膜試験片が作製される試験片用基板と、前記薄膜試験片を把持するための少なくとも二本の試験片把持用プローブと、前記薄膜試験片を前記試験片用基板から剥離させるための加工液漕と、前記試験片把持用プローブのうち、少なくとも一方を移動させるための把持用プローブ移動機構と、前記加工液漕内で引っ張り試験をおこなう際に前記薄膜試験片に働く力を測定する発生力測定機と、前記薄膜試験片の伸びを測定する観察用プローブと、から構成されることを特徴とした薄膜引っ張り試験システム。

IPC (2件)：