特許
J-GLOBAL ID：201103033737293865
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 矢澤 清純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267287
特許番号：特許第3982950号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂を含有し、前記樹脂が下記一般式(a)、式(II)又は(III)で表される構造の少なくとも1つを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
式(a)中、
R1 、R2 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基を表し、R1 とR2 が結合して単環または多環を形成してもよい。また、その環の中に酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステル、イミド、アミドを連結基として有してもよい。
R3 〜R5 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基またはアルコキシ基を表し、R3 〜R5 のうちの二つ又は全てが結合して酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステルを連結基として有してもよい単環あるいは多環を形成してもよい。
nは1〜3の整数を表す。
R15は水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基またはハロアルキル基を表す。
式(II)および(III)中、
R1 、R2 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基を表し、R1 とR2 が結合して単環または多環を形成してもよい。また、その環の中に酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステル、イミド、アミドを連結基として有してもよい。
R3 〜R5 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基またはアルコキシ基を表し、R3 〜R5 のうちの二つ又は全てが結合して酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステルを連結基として有してもよい単環あるいは多環を形成してもよい。
Xは単結合または2価の結合基を表し、XとR1 、R2 のいずれか、又は両方が結合して単環あるいは多環を形成してもよい。
Yは酸素原子、硫黄原子、-NH-、-N(OH)-又は-N(アルキル)-を表す。
nは1〜3の整数を表す。
IPC (2件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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