特許
J-GLOBAL ID：201103034857662259
精密な波長制御を備えた狭帯域レーザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309919
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168440
特許番号：特許第3842541号
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 0.1ピコメートル以下の波長安定度を要求する高繰り返し数の複数のパルスのバーストを有する出力レーザ・ビームを発生する狭帯域放電レーザであって、
A)レーザ・フレームと、
B)前記フレーム内に取り付けられたレーザ室であって、そのフレーム内での水平位置が、室のレーザビーム出力の方向に対して実質的に垂直な方向に調節自在である仕方で、前記フレームに取り付けられたレーザ室と、
C)前記室内に包含されるレーザ・ガスと、
D)その間のレーザ・ガスと共に利得媒体を定めるような、前記室内に包含され間隔を開けて置かれた2本の延長された電極と、
E)プリズム・ビーム拡大器、同調ミラー、及び、回折格子を含む線狭帯域化モジュールと、
F)前記出力波長を0.1ピコメートル未満の精度で調節する精密な同調手段と、
G)レーザ出力ビーム波長を検知する波長計と、
H)前記レーザ室の位置、前記線狭帯域化モジュール、及び、前記同調手段の作動を制御するようプログラムされたコンピュータプロセッサとを含み、
前記同調手段は、前記同調ミラーをその枢軸の回りに枢転させて、当該同調ミラーへの入射ビームの入射角に関し位置決めするステッピング・モータ及び圧電アクチュエータを備え、前記バースト動作における精密な同調に前記圧電素子を用いることを特徴とする、狭帯域放電レーザ。
IPC (2件)：
H01S 3/136 ( 200 6.01)
, H01S 3/1055 ( 200 6.01)
