特許
J-GLOBAL ID：201103036420379623
O-置換ビニルフェノール単位を有する重合体及びそれのレジストへの使用
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中山 亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193362
公開番号（公開出願番号）：特開2001-011117
特許番号：特許第4366766号
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下式(I)
(式中、R1、R2及びR3が互いに独立に、炭素数1〜4のアルキルを表す。)で示されるビニルフェノール単位、又は下式(Ia)、(Ib)、(Ic)若しくは(Id)
(式中、R11、R12及びR13は互いに独立に、メチル又はエチルであり、X、Y及びZが互いに独立に、トリメチレン、テトラメチレン又はペンタメチレンを表す)
で示されるビニルフェノール単位を有し、
さらに、下式(II)
で示されるビニルフェノール単位を別の単位として有する重合体であり、前記重合体の重量平均分子量が2,000〜32,000であることを特徴とする重合体。
IPC (5件)：
C08F 8/30 ( 200 6.01)
, C08L 25/18 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
C08F 8/30
, C08L 25/18
, G03F 7/027 514
, G03F 7/038 601
, G03F 7/039 601
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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