特許
J-GLOBAL ID：201103037076331396
誘導結合プラズマ着火方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150714
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343600
特許番号：特許第3883396号
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力が共に低い状態で低エネルギー・低密度のプラズマを着火させ、プラズマ着火確認後に、高周波出力、反応ガス流量およびチャンバー内圧力を共に漸次増加させ、最終的に被処理物を処理できる低エネルギー・高密度のプラズマを発生させる誘導結合プラズマ着火方法において、反応ガスとして酸素ガスを用い、プラズマ着火当初の前記反応ガス流量を最終到達流量の2〜15%に設定することを特徴とする誘導結合プラズマ着火方法。
IPC (6件)：
H05H 1/46 ( 200 6.01)
, B01J 19/08 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, C23F 4/00 ( 200 6.01)
, C23C 16/50 ( 200 6.01)
H05H 1/46 L
, B01J 19/08 H
, H01L 21/205
, H01L 21/302 101 C
, C23F 4/00 A
, C23C 16/50
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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