非球面形状の測定方法と測定装置およびこれを用いた光学素子製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055867
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249526
特許番号：特許第3544628号
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平行光を被測定面(1)の法線方向に反射する非球面参照面(2)を製作し、該非球面参照面で被測定面の法線方向に平行光を反射して非球面波面(3)を生成し、その被測定面での反射光と所定の参照光とから干渉縞を形成して非球面形状を干渉計測する、ことを特徴とする非球面形状測定方法。

IPC (1件)：