特許
J-GLOBAL ID：201103038112590413
弾性係数を測定する走査型プローブ顕微鏡及びそれに使用するプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (6件)：
重信 和男
, 加古 進
, 清水 英雄
, 高木 祐一
, 中野 佳直
, 秋庭 英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156021
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350323
特許番号：特許第4328474号
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プローブを振動させ、その振動を該プローブに対する光の反射を検出することで試料の弾性係数を測定する走査型プローブ顕微鏡であって、
弾性係数を測定するプローブは片持ちはりの形状をしており、
前記片持ちはりは、先端部に高密度の集中質量を付加した構成であり、
付加した前記高密度の集中質量により先端部の慣性力が増し、振動した前記プローブがプローブ先端の探針を試料表面に押し込むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N 13/16 101 A
, G01N 13/16 101 G
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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