金属の表面品質評価方法および金属の表面品質評価装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 棚井澄雄 , 増井裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-059321
公開番号（公開出願番号）：特開2011-191252
出願日： 2010年03月16日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】表面に形成された酸化被膜の厚さの分布を考慮して金属の品質を自動的に評価することができる金属の表面品質評価方法を提供する。【解決手段】金属の表面品質評価方法は、被検体の表面の画像を撮像し、画像に含まれる複数の画素における色成分情報を求める撮像工程S1と、予め測定された金属の表面の画像に含まれる画素における色成分情報による色空間上での位置の軌跡、および、金属の表面における色成分情報を求めた位置での酸化被膜の厚さ、の対応関係と、色成分情報の色空間上での位置と、を比較して、画素に対応する酸化被膜の厚さを求める膜厚決定工程S2と、複数の酸化被膜の厚さに対する特定特徴量を求める特徴量決定工程S3と、予め測定された良品/不良品となる金属の特徴量と、特徴量決定工程で求められた特定特徴量とを機械学習により比較して、被検体が良品か不良品かを評価する良品評価工程S4と、を備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

金属である被検体の表面に形成された酸化被膜により前記被検体の品質を評価する金属の表面品質評価方法であって、前記被検体の表面の画像を撮像し、前記画像に含まれる複数の画素における色成分情報を求める撮像工程と、予め測定された前記金属の表面の前記画像に含まれる画素における色成分情報による色空間上での位置の軌跡、および、前記金属の表面における前記色成分情報を求めた位置での酸化被膜の厚さ、の対応関係と、前記撮像工程で測定した前記画素における色成分情報の前記色空間上での位置と、を比較して、それぞれの前記画素に対応する前記酸化被膜の厚さを求める膜厚決定工程と、前記膜厚決定工程で求められたそれぞれの前記酸化被膜の厚さから、複数の前記酸化被膜の厚さに対する最大値、最小値、平均値、分散、標準偏差、中央値、分位点、平均情報量、コントラストおよびエネルギーである特徴量のうち少なくとも一つである特定特徴量を求める特徴量決定工程と、予め測定された良品となる前記金属の前記特徴量および不良品となる前記金属の前記特徴量と、前記特徴量決定工程で求められた前記特定特徴量と、を機械学習により比較して、前記被検体が良品か不良品かを評価する良品評価工程と、を備えることを特徴とする金属の表面品質評価方法。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 A

Fターム (14件)：

2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB12 , 2G051BA01 , 2G051BB17 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB10 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051ED21

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-043905
膜厚測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-059806 出願人：中央精機株式会社
腐食度評価方法、装置及びプログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-145969 出願人：財団法人電力中央研究所

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