縦型熱処理装置及びシール装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216105
特許番号：特許第3579278号
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】縦型の反応容器の下端開口部を気密に塞ぐ蓋体上の保持具に複数の被処理基板を棚状に保持し、前記蓋体に設けられた軸穴を通じて底部から貫通してなる回転軸により前記反応容器内の保持具を回転させながら被処理基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置において、前記軸穴を有する略筒状の固定部材と、前記軸穴と前記回転軸との間の隙間の空間を前記固定部材の外側空間に連通接続するために、その固定部材の外周を囲み、かつ固定部材の下端部近傍にて、前記回転軸との間を塞ぐように回転軸に固定された有底筒状の外殻部材と、この外殻部材の上部開口端寄りの位置にて、外殻部材と前記固定部材との間に設けられた軸受け部と、この軸受け部の下方側位置にて、外殻部材の内壁面と前記固定部材の外壁面との間をシールするシール部と、を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , H01L 21/22

FI (2件)：

H01L 21/205 , H01L 21/22 511 R

引用特許：

出願人引用 (6件)

縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-239996 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
縦型熱処理装置及び真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-172267 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
縦型反応炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-115379 出願人：国際電気株式会社

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