特許
J-GLOBAL ID：201103042217491701
静電容量式圧力センサ及びその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057134
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199727
特許番号：特許第3728969号
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】固定電極付きのガラス部品と、溝によって囲まれ溝部肉薄部の変形で変位する可動電極を有するシリコン部品とが接合されてなり、シリコン部品の溝の外側には溝につながる凹部が形成され、この凹部の中央部の直上に相当するガラス部品の部分にはスルーホールが形成され、このスルーホールを通して固定電極からの配線がガラス部品の外側表面に引き出され、測定対象である圧力が可動電極と固定電極とのギャップの変化を介してその静電容量値の変化分として検知される静電容量式圧力センサにおいて、シリコン部品が単結晶シリコンからなり、ガラス部品が硼硅酸ガラスからなり、シリコン部品の凹部表面には絶縁性薄膜が形成され、シリコン部品とガラス部品とが静電接合によって接合されていることを特徴とする静電容量式圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
-
静電容量型センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-127575
出願人：富士電機株式会社
-
変位測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-063953
出願人：富士電機株式会社
-
圧力センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-175546
出願人：横河電機株式会社
全件表示
前のページに戻る
