特許
J-GLOBAL ID：201103044634102478
レーザによる微細加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
佐々木 宗治
, 小林 久夫
, 木村 三朗
, 大村 昇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-207871
公開番号（公開出願番号）：特開2002-028799
特許番号：特許第3797068号
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被加工物の表面に吸光物質を付着させ、該吸光物質を付着させた前記被加工物表面に向けてレーザを照射して、前記被加工物を加工する方法において、
前記加工により発生したプラズマにレーザを吸収させながら加工を行うことを特徴とするレーザによる微細加工方法。
IPC (4件)：
B23K 26/18 ( 200 6.01)
, B23K 26/00 ( 200 6.01)
, B23K 26/38 ( 200 6.01)
, C03B 29/02 ( 200 6.01)
B23K 26/18
, B23K 26/00 G
, B23K 26/38 330
, C03B 29/02
