特許
J-GLOBAL ID:201103046409316593
光波長測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西村 教光
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-402120
公開番号(公開出願番号):特開2002-202203
特許番号:特許第4566401号
出願日: 2000年12月28日
公開日(公表日): 2002年07月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 入力光を二つに分波し、この分波された光を再び合波して出力する二光束干渉計を備えた光波長測定装置において、前記二光束干渉計が、分波されてから合波されるまでの二光束間の光路の差が固定されており、且つ、少なくとも1つ以上の出力光が互いに異なる偏波状態を有する二光束の合波光であることを特徴とし、更に、前記合波光の偏波状態を検出する偏波状態検出手段を備え、前記偏波状態から、前記入力光の波長を測定する光波長測定装置。
IPC (3件):
G01J 9/02 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01J 4/04 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01J 9/02
, G01B 9/02
, G01J 4/04 Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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光波長計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-261745
出願人:安藤電気株式会社
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特開平4-168330
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偏光干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-016169
出願人:株式会社島津製作所
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干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-137853
出願人:株式会社ニコン
-
干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-168141
出願人:株式会社ニコン
-
レーザ干渉計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-346347
出願人:ホーヤ株式会社
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審査官引用 (6件)
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光波長計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-261745
出願人:安藤電気株式会社
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特開平4-168330
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偏光干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-016169
出願人:株式会社島津製作所
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干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-137853
出願人:株式会社ニコン
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干渉計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-168141
出願人:株式会社ニコン
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レーザ干渉計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-346347
出願人:ホーヤ株式会社
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