特許
J-GLOBAL ID：201103047334668410
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187411
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010063
特許番号：特許第3647321号
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 樹脂フィルムに、オリフィスとなる開口をレーザーによるアブレーションにて加工し、該樹脂フィルムを、吐出エネルギー発生手段を有する基板に接合してインクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッドの製造方法であって、 前記樹脂フィルムの、前記基板と接合する接合面の表面に予め接着層を露出して設ける工程と、 前記接合面側から前記接着層を介して前記樹脂フィルムに、オリフィスとなる開口をレーザーによるアブレーションにて加工する加工工程と、 前記加工工程における加工後に、その加工により生成した副生成物を除去するため、前記接着層の表面をアブレーション加工する際に、前記樹脂フィルムの被加工面に達することなく、該被加工面に接着層を残すように制御してアブレーション加工する工程と、 前記被加工面に残された前記接着層を介して前記樹脂フィルムと前記基板とを、前記オリフィスと前記吐出エネルギー発生手段が対向するように位置合せをして接合する工程と、 を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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