特許
J-GLOBAL ID：201103047343626436
弾性波デバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-188531
公開番号（公開出願番号）：特開2011-041136
出願日： 2009年08月17日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】質量付加膜の材料の選択の幅が広がる、または、共振周波数を調整できる範囲が広がること。【解決手段】基板10と、基板10上に設けられた圧電薄膜14と、前記圧電薄膜14の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極12および上部電極16と、前記圧電薄膜14を挟み前記下部電極12および上部電極16が対向する共振領域50と、前記圧電薄膜14と上部電極16との間の前記共振領域50に設けられ、前記共振領域50とは異なる形状である第1付加膜28と、を備える圧電薄膜共振器を具備する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に設けられた圧電薄膜と、
前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極および上部電極と、
前記圧電薄膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域と、
前記圧電薄膜と上部電極との間の前記共振領域に設けられ、前記共振領域とは異なる形状である第1付加膜と、
を備える圧電薄膜共振器を具備することを特徴とする弾性波デバイス。
IPC (7件)：
H03H 9/17
, H03H 9/54
, H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, H01L 41/24
H03H9/17 F
, H03H9/54 Z
, H03H3/02 B
, H03H3/02 C
, H01L41/08 K
, H01L41/08 L
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
5J108AA02
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF03
, 5J108FF05
, 5J108FF11
