特許
J-GLOBAL ID：201103047800261341
プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
, 丸山 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-541717
特許番号：特許第4597367号
出願日： 1999年03月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 トランスフォーマー・カップルド・プラズマを発生するための装置であって、
プラズマ反応チャンバ内への電磁界経路を形成する窓、および当該チャンバ内へプロセス・ガスを導入するように構成されたプロセス・ガス供給部を有する当該プラズマ反応チャンバと、
前記チャンバの窓の外側表面に近接して配置された少なくとも2つのアンテナ・セグメントを含み、前記少なくとも2つのアンテナ・セグメントが互いに近接して平行に配置されるとともに互いに電気的に直列に接続された高周波アンテナと、
前記アンテナに結合され、前記アンテナ・セグメント中で高周波電流を共振させるように構成され、該高周波電流によって誘導される電磁界がプロセス・ガスを励起してイオン化し、それにより前記チャンバ内部にプラズマを発生させる高周波源と、
前記第1、第2のアンテナ・セグメントを相互接続し、前記第1のアンテナ・セグメントにおける高周波電流の瞬間方向が前記第2のアンテナ・セグメントにおける高周波電流の瞬間方向と実質的に同じになるように前記アンテナ中に高周波電流を分配するように構成された移相器とを備える装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46 ( 200 6.01)
, H01J 37/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/302 ( 200 6.01)
H05H 1/46 L
, H01J 37/32
, H01L 21/302
