特許
J-GLOBAL ID：201103050568979185

重合体の製造方法、リソグラフィー用重合体、レジスト組成物、および基板の製造方法

発明者：
安田 敦

安田 敦 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-209166
公開番号（公開出願番号）：特開2011-057857
出願日： 2009年09月10日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】溶媒への溶解性が良好であり、レジスト組成物に用いたときに高い感度が得られる重合体の製造方法を提供する。【解決手段】反応器内に単量体および重合開始剤を供給しながら、該反応器内で重合体を生成する工程を有する重合体の製造方法であって、単量体の全供給量のうちの12.5質量%が、前記反応器内に供給された時点で、重合開始剤の全供給量のうちの25質量%以上が、該反応器内に供給されていることを特徴とする重合体の製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
反応器内に単量体および重合開始剤を供給しながら、該反応器内で重合体を生成する工程を有する重合体の製造方法であって、 単量体の全供給量のうちの12.5質量%が、前記反応器内に供給された時点で、 重合開始剤の全供給量のうちの25質量%以上が、該反応器内に供給されていることを特徴とする重合体の製造方法。
IPC (4件)：
C08F 2/00 ,  C08F 220/00 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C08F2/00 A ,  C08F220/00 510 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (27件)：
2H125AF17P ,  2H125AF35P ,  2H125AH15 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN39P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125EA01P ,  4J011AA05 ,  4J011BA06 ,  4J011BB01 ,  4J011BB02 ,  4J011BB04 ,  4J011BB12 ,  4J011BB17 ,  4J011DA04 ,  4J011DB27 ,  4J011HA03 ,  4J011HB06 ,  4J011JB12
引用特許：
審査官引用 (5件)
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