特許
J-GLOBAL ID：201103053724921078

塩及びレジスト組成物

発明者：
市川 幸司

市川 幸司 について

, 
吉田 勲

吉田 勲 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-242476
公開番号（公開出願番号）：特開2011-121937
出願日： 2010年10月28日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：
【課題】欠陥が少なく、かつ優れた形状及びラインエッジラフネスを有するレジストパターンを得ることを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩。[式中、Q1及びQ2は、それぞれ、F又はペルフルオロアルキル基;L1は、単結合又は置換基を有していてもよい2価の飽和炭化水素基、該飽和炭化水素基の-CH2-は-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい;Y1は、(m+1)価の飽和環状炭化水素基、該基の-CH2-は-O-、-CO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい;X1は脂肪族炭化水素基、該基に含まれる少なくとも1つの水素原子はフッ素原子で置換されており、該基に含まれる少なくとも1つの水素原子は水酸基で置換されていてもよい;mは、1又は2の整数;Z+は有機対イオンを表す。]【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(I)で表される塩。
IPC (7件)：
C07C 309/17 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C07C 381/12 ,  C07C 25/00 ,  C09K 3/00 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
C07C309/17 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C07C25/00 ,  C09K3/00 K ,  H01L21/30 502R
Fターム (31件)：
2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF21P ,  2H125AF26P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4H006AA01 ,  4H006AB81 ,  4H006AC13 ,  4H006AD16 ,  4H006BA71 ,  4H006BE03 ,  4H006EA21
引用特許：
審査官引用 (7件)
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