特許
J-GLOBAL ID:201103054509388985
感熱式流量センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮園 純一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-269344
公開番号(公開出願番号):特開2001-091322
特許番号:特許第3555017号
出願日: 1999年09月22日
公開日(公表日): 2001年04月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】板状の検出素子を所定の流路内に配置するためのホルダであって、該ホルダは、前記検出素子を所定の位置に設置するための収納部と、吸入流体の流れを整えるための整流構造部と、検出素子の信号を取り出すための接続端子の埋設された接続端子固定部とを有し、該整流構造部と接続端子固定部とが絶縁材料にて一体に構成された感熱式流量センサにおいて、収納部がホルダの表面に凹状に形成され、収納部の底面には検出素子を固着するための接着剤が塗布されたダイボンド部と、ダイボンド部に固着される検出素子の厚み方向における設置高さを規定する位置規定部とを備えたことを特徴とする感熱式流量センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01F 1/68 104 A
, G01F 1/68 101 A
引用特許:
審査官引用 (8件)
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特開昭63-241313
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流過する媒体の量を測定するためのセンサ支持体及びセンサ支持体を製造するための方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-505344
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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熱式流量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-112294
出願人:株式会社リコー
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熱式空気流量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-158739
出願人:株式会社日立製作所
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流動媒体の質量測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-147348
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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マイクロセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-229734
出願人:株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
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半導体力学量センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-269816
出願人:株式会社デンソー
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半導体圧力センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-340809
出願人:富士電機株式会社
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