特許
J-GLOBAL ID：201103055182368868
ショットレイアウト作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-341781
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142388
特許番号：特許第3907448号
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に原版のパターンを露光する際のチップレイアウト及びショットレイアウトを作成するレイアウト作成方法において、
複数のチップレイアウトと、前記複数のチップレイアウトのそれぞれに対応するショットレイアウトとを作成するレイアウト作成工程と、
前記複数のチップレイアウト及び前記複数のチップレイアウトのそれぞれに対応するショットレイアウトに基づいて、各ショットレイアウトでの単位時間あたりのチップの生産量を算出する算出工程とを有し、
前記算出工程で算出された前記各ショットレイアウトでの単位時間あたりのチップの生産量に基づいて、単位時間あたりのチップの生産量が最も多いチップレイアウト及びそれに対応するショットレイアウトを求める工程とを有することを特徴とするレイアウト作成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H01L 21/30 514 B
, H01L 21/30 502 G
, G03F 7/20 521
