特許
J-GLOBAL ID：201103059373413958
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108602
特許番号：特許第3877919号
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端に微小な探針を有するカンチレバーと、
該カンチレバーのレ-ザ反射面に照射するレーザと、
該レ-ザの反射光の位置を検出する光位置検出器と、
試料を移動させる試料移動手段と、
前記カンチレバーを一定周期で所望の振幅量で振動させるレバー加振手段と、を備え、
前記カンチレバーの振幅量が一定になるように前記試料移動手段の上下動作を制御することで試料表面の凹凸形状情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、
前記カンチレバーの加振周波数を1次共振周波数のQカ-ブの半値幅の周波数帯の両外側とすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ( 200 6.01)
, G01N 13/10 ( 200 6.01)
G01N 13/16 A
, G01N 13/10 D
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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