基板搬送ロボット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：石島茂男 , 阿部英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000026
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189367
特許番号：特許第4346765号
出願日： 2000年01月04日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フォーク部上に基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、前記フォーク部の先端部分には、上部に斜面を有する突起部材が配置され、前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、該基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成され、前記フォーク部はアルミナで形成され、その表面にはアルミニウムの保護膜が形成された基板搬送ロボット。

IPC (3件)：