特許
J-GLOBAL ID：201103064391910989
歯車の作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 佳直
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-543439
特許番号：特許第4611592号
出願日： 2000年12月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】回転軸が基板面に水平なウオーム歯車の作成方法において、
(1)基板上に感光剤を塗布する工程と、
(2)露光制御方法により前記感光剤を露光し、該感光剤にウオーム歯車が回転できるように基板との間隙部分になる断面が曲面形状の領域およびウオーム歯車の軸受け部となる窪み部を形成する工程と、
(3)前記感光剤をマスクにして、基板面に垂直方向にエッチングできかつ感光剤と被エッチング材料のエッチング速度が同じになるようにエッチング(以下転写エッチングと称す)を行う、すなわち前記被エッチング材料として前記基板に前記間隙部分となる領域および前記軸受け部となる窪み部を形成する工程と、
(4)前記転写エッチング後、基板上にウオーム歯車の材料と異なる材料を堆積する工程と、
(5)工程(4)により堆積した材料のうち、前記間隙部分を形成する領域以外の領域の材料を除去する工程と、
(6)前記基板上に感光剤をウオーム歯車の半径に等しい厚さになるように塗布する工程と、
(7)前記感光剤に回転軸を含むウオーム歯車の下半分の型の形状を露光制御方法を用いて露光し、続いて現像、固化する工程と、
(8)工程(7)の前記感光剤をマスクにして、工程(5)により除去されずに残っている前記間隙部分を形成する領域の材料を前記被エッチング材料として転写エッチングを行い、前記領域の材料に前記回転軸を含むウオーム歯車の下半分の型を形成する工程と、
(9)ウオーム歯車の形成領域において最も厚い部分の膜厚がウオーム歯車の直径と等しくなるようウオーム歯車の材料を基板上に堆積する工程と、
(10)さらに、堆積したウオーム歯車の材料の上に感光剤をウオーム歯車の半径に等しくなるよう塗布する工程と、
(11)工程(10)により塗布した感光剤に露光制御方法で、工程(8)により形成した回転軸を含むウオーム歯車の下半分の型に一致させて、回転軸を含むウオーム歯車の上半分を作成する工程と、
(12)工程(11)で作成した回転軸を含むウオーム歯車の上半分の形状を、工程(9)により堆積したウオーム歯車の材料に転写エッチングし、回転軸を含むウオーム歯車を形成する工程と、
(13)前記工程(4)で堆積したウオーム歯車を回転させるための間隙に相当する部分の材料を除去する工程と、
からなることを特徴とするウオーム歯車の作成方法。
IPC (4件)：
B81C 1/00 ( 200 6.01)
, B81B 5/00 ( 200 6.01)
, F16H 49/00 ( 200 6.01)
, F16H 55/17 ( 200 6.01)
B81C 1/00
, B81B 5/00
, F16H 49/00 A
, F16H 55/17 Z
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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