特許
J-GLOBAL ID：201103066179509886

SiC種結晶の外周壁を有する種結晶ホルダ

発明者：
シュタイン、ルネ

シュタイン、ルネ について

, 
クーン、ハラルト

クーン、ハラルト について

, 
フェルクル、ヨハネス

フェルクル、ヨハネス について

, 
チントル、ヴォルフガング

チントル、ヴォルフガング について


出願人/特許権者：
エスアイクリスタル アクチエンゲゼルシャフト

エスアイクリスタル アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-509584
特許番号：特許第4691292号
出願日： 2000年07月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 SiC種結晶(10、10a、10b、16)の表側(11)に成長するSiC体積単結晶(15)の成長中に、坩堝の内部のSiC種結晶(10、10a、10b、16)を保持するための種結晶ホルダが、 SiC種結晶(10、10a、10b、16)の裏側(12)用に上載せ面(29)を有する少なくとも1つの裏側部材(28)と、 この裏側部材(28)とSiC種結晶(10、10a、10b、16)用の少なくとも1つの外周壁(30)を含み、その際 この外周壁(30)が、SiC種結晶(10、10a、10b、16)のその表側(11)の縁の部分が載る少なくとも1つの突出部(31)から成り、 前記突出部(31)がSiC種結晶(10、10a、10b、16)に面する側に第2の傾斜(33)を有する ことを特徴とする坩堝内のSiC種結晶(10、10a、10b、16)を保持するSiC種結晶ホルダ。
IPC (1件)：
C30B 29/36 ( 200 6.01)
FI (1件)：
C30B 29/36 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM