特許
J-GLOBAL ID：201103066340226776
1,2-ナフトキノンジアジド系感光剤の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-134836
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316351
特許番号：特許第4179579号
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多価フェノール化合物と1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸ハロゲン化物とを有機アミンの存在下、アセトン、1,3-ジオキソラン及びテトラヒドロフランから選択された1種以上であるアミド系以外の有機溶媒中で縮合させた後、N-メチルピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド及びN,N-ジメチルアセトアミドから選択された1種以上であるアミド系溶媒を加え、生成した有機アミンの酸塩をろ別することを特徴とする1,2-ナフトキノンジアジド系感光剤の製造方法。
IPC (5件)：
C07C 303/28 ( 200 6.01)
, C07C 309/72 ( 200 6.01)
, G03F 7/022 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C07B 61/00 ( 200 6.01)
C07C 303/28
, C07C 309/72
, G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
, C07B 61/00 300
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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