静電型アクチュエータ、その製造方法及び前記静電型アクチュエータを用いたインクジェットヘッド、インクジェットプリンタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高野明近 , 岩野進 , 安田啓之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-053077
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254633
特許番号：特許第4219098号
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】振動板と、該振動板と対向配置された対向電極と、前記振動板と対向電極間に振動室を備えている静電型アクチュエータにおいて、前記対向電極の上部を逆スパッタにより表面をエッチングすることにより、逆スパッタ後の前記対向電極の表面粗さを、前記振動板と対向電極が接触したときにおける前記振動板と対向電極との吸着力が前記振動板の復元力と等しくなるときの前記対向電極の表面粗さRa(th)よりも大きくしたことを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (3件)：