特許
J-GLOBAL ID：201103066873819523

位置検出装置およびそれを用いた露光装置

発明者：
稲田 博志

稲田 博志 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338327
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142375
特許番号：特許第4027080号
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成された位置合わせマークを照明する照明系と、前記位置合わせマークの像を結像する結像系とを備え、結像された位置合わせマークに基づいて前記基板の所定の位置基準に対する位置ずれを検出する位置検出装置において、 前記照明系は、 光源からの光を導くファイバと、 前記ファイバの後段に配置された照明リレーレンズと、 前記照明リレーレンズの後段の前記照明系の瞳面に配置され、回転中心と同心な同一円心上に形成されて回転駆動により切り替え可能な複数種類の照明開口絞りを有する回転円盤と、 瞳面近傍に配置され、照明光束の光軸に対して垂直かつ前記照明開口絞りが配置される前記円周の前記照明光束が通る位置の接線に平行な軸を傾け軸とする透明な平行平面板を有し、 前記位置合わせマークを照明する照明光束の光軸の傾きを、前記接線方向については前記回転円盤の回転駆動、前記接線方向と直交する方向については前記平行平面板の傾け量の調整により行うことを特徴とする位置検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G03F 9/00 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 502 G ,  G01B 11/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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