化学増幅型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199096
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027805
特許番号：特許第4424631号
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂および光酸発生剤を含有する化学増幅型レジスト組成物において、前記酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂100重量部に対して、0.01〜10重量部の多官能(メタ)アクリレート(但し、官能基の2個付いた(メタ)アクリレートを除く)を含み、前記酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂が、ラクトン骨格を有する単量体単位と、該ラクトン骨格を有する単量体とは異なる脂環式骨格を有する単量体単位とを含む化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

IPC (3件)：