単量体、高分子化合物、感光性組成物、これを用いたパタン形成方法および電子部品の製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260926
公開番号（公開出願番号）：特開平11-171835
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】短波長光に対して透明性が優れ、かつ充分なドライエッチング耐性を有し、溶解性、アルカリ現像性の高い感光性組成物を提供する。【解決手段】下記化学式で表される繰り返し単位を有する高分子化合物と、光酸発生剤とを含有する感光性組成物である。【化1】(ここで、Rは脂環式骨格を有する基であり、R2 は同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、又は一価の有機基である。X1 はヘテロ原子を含む二価の有機基であり、jは〜3の整数である。R1 はSiを含有する一価の有機基である。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(m-1)で表わされる単量体。【化1】(上記一般式(m-1)中、Rは脂環式骨格を有する基であり、R2 は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、または一価の有機基である。X1 は、ヘテロ原子を含む二価の有機基であり、jは0ないし3の整数である。R1 は、以下に示す群から選択される基である。 Siを含有する一価の有機基 (R1-1) -(X2 )k -R4 -(X3 )m -C(R6 )3 (R1-2)ここで、X2 およびX3 はヘテロ原子を含む二価の有機基であり、kおよびmは0ないし3の整数である。R4 は2価のアルキル基である。R6 は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子、ハロゲン原子または一価の有機基である。)

IPC (9件)：

C07C 69/734 , C07C255/23 , C07D309/12 , C07F 7/12 , C07F 7/18 , C08F 20/10 , C08F 30/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (9件)：

C07C 69/734 Z , C07C255/23 , C07D309/12 , C07F 7/12 L , C07F 7/18 F , C08F 20/10 , C08F 30/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (13件)

ビニル基を含有する単量体及びその重合体及びそれを用いた感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280695 出願人：日本電気株式会社
特開平3-294316
ビニルモノマー、重合体、フォトレジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-203150 出願人：日本電気株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering(Pt. 1, Advances in Resist, 1998, V3333, P102-110

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