特許
J-GLOBAL ID：201103066950138194
冷陰極装置の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-068124
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270089
特許番号：特許第4028181号
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板に電気的に接続される炭素系材料からなる電界放出冷陰極を有すると共に、前記電界放出冷陰極から離間して配設されるゲート電極を有する冷陰極装置の作製方法において、
前記基板上に絶縁層を介在して第1の方向の第1のゲート電極を形成する工程と、ゲート電極間絶縁膜を介在して前記第1のゲート電極に交差する第2の方向の第2のゲート電極を形成する工程と、前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極とが交差する領域に前記基板から前記第1および第2のゲート電極を貫通する陰極孔を形成する工程と、前記第1のゲート電極と第2のゲート電極それぞれに所定の電圧を印加して、前記陰極孔内の前記基板から伸びる炭素系材料による1つ又は複数の突起からなる電界放出冷陰極の生成を制御する工程とを備えることを特徴とする冷陰極装置の作製方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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