特許
J-GLOBAL ID：201103067677428431
突起電極形成用基板及びそれを用いた突起電極の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
柏谷 昭司
, 渡邊 弘一
, 眞鍋 潔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065835
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260802
特許番号：特許第3716403号
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】金属球を受容する凹所が設けられ且つ任意の温度に於いて金属球を転写する側を凸とする反りを与える為の樹脂膜が設けられた形成板からなることを特徴とする突起電極形成用基板。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/92 604 F
, H01L 21/60 311 Q
