インプリント方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-031415
公開番号（公開出願番号）：特開2011-171364
出願日： 2010年02月16日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】パターン形成において成形材と被成形材とを迅速に剥離させることが可能な、新規かつ改良されたインプリント方法を提供する。【解決手段】所望のパターンが形成されたモールド10をレジスト30に圧着させることによりモールド10の反転パターンをレジスト30に転写する転写工程と、加熱または光の照射によりレジスト30を硬化させる硬化工程と、硬化工程によりレジスト30が硬化した後、モールド10とレジスト30とを剥離する剥離工程と、を含み、剥離工程は、モールド10をレジスト30の圧着方向と反対方向に引き離す引離し工程と、レジスト30をモールド10の圧着方向と同方向に押し付ける押付け工程と、を含むことを特徴とするインプリント方法を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所望のパターンが形成された成形材を被成形材に圧着させることにより、前記成形材の反転パターンを前記被成形材に形成する圧着工程と、加熱または光の照射により前記被成形材を硬化させることにより、前記成形材の反転パターンを前記被成形材に転写する転写工程と、前記転写工程により前記被成形材が硬化した後、前記被成形材から前記成形材を剥離させる離型工程と、を含み、前記離型工程は、前記成形材を前記被成形材の圧着方向と反対方向に引き離す引離し工程と、前記被成形材を前記成形材の圧着方向と同方向に押し付ける押付け工程と、を含むことを特徴とするインプリント方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B29C 59/02 , B29C 33/44

FI (3件)：

H01L21/30 502D , B29C59/02 B , B29C33/44

Fターム (21件)：

4F202AA44 , 4F202CA01 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CM31 , 4F202CM90 , 4F209AA44 , 4F209AC05 , 4F209AF01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AH37 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PB11 , 4F209PG05 , 4F209PN06 , 4F209PQ11 , 4F209PQ14 , 5F046AA28 , 5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭60-127544
粘着性を有する微細構造を製造する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-171470 出願人：東捷科技股分有限公司
特開平4-023244

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