ガス濃度計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245257
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074653
特許番号：特許第3342446号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】測定対象とされるガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を発振する光源と、この光源から発振されるレーザ光の発振波長を少なくとも2つの異なる周波数で変調する手段と、この変調手段により変調されたレーザ光を前記ガス状物質が存在する測定領域に導く手段と、この測定領域において透過または反射または散乱したレーザ光を受光する第1の受光手段と、この第1の受光手段で受光した信号の中から変調された信号を周波数毎に順次それぞれ復調し、変調周波数の成分またはその高調波成分を得る複数の第1の位相敏感検波器と、を具備することを特徴とするガス濃度計測装置。

IPC (2件)：