特許
J-GLOBAL ID：201103073693051046
光学位置測定装置の走査ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
江崎 光史
, 三原 恒男
, 奥村 義道
, 鍛冶澤 實
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132331
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329585
特許番号：特許第4580060号
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一つの増分目盛トラック(12)と特定の少なくとも一つの基準位置(xREF )に二つの基準マーク(13.1,13.2)を有する目盛板(10)を測定方向(x)に走査するのに適した光学位置測定装置の走査ユニットにおいて、
走査ユニット(20)に以下の構成要素、
-一つの光源(21)、
-増分目盛トラック(12)の走査により位相のずれた部分増分信号を発生するように、互いに配置されている多数の増分目盛信号検出素子(22.1〜22.8)から成る、光源(21)の周りに対称に配置された増分信号走査装置、
-測定方向(x)に垂直に、しかもそれぞれ増分走査装置に対して隣接して配置され、出力基準パルス信号(H’)を発生する働きをする少なくとも二つの基準パルス検出素子(24.1〜24.4)、
が有り、
増分信号走査装置の片側には、それぞれ二つの基準パルス検出素子(24.1,24.2;24.3,24.4)が配置されており、片側に有る二つの基準パルス検出素子(24.1,24.2;24.3,24.4)は、測定方向(x)に対して互いにずらして配置されており、そのため各基準マーク(13.1,13.2)を走査すると、位相のずれた二つの部分基準パルス信号が生じ、
走査ユニット(20)には基準パルス検出素子(24.1〜24.4)から発生する部分基準パルス信号を処理する回路素子があり、その回路素子が、増分信号走査装置の両側に測定方向に対して互いにずらして配置された全部で四つの検出素子(24.1〜24.4)の出力端に出力する部分基準信号から和信号(D)と差信号(E)を形成し、和信号(D)と差信号(E)を矩形波信号(F,G)に変換して和信号と差信号の論理AND結合を行い、この論理AND結合部が出力基準パルス(H,H′)を出力する、
ことを特徴とする走査ユニット。
IPC (2件)：
G01D 5/36 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
G01D 5/36 K
, G01D 5/36 T
, G01B 11/00 A
