特許
J-GLOBAL ID:201103073747239720

半田ボールマウント装置の制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 仁科 勝史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-034265
公開番号(公開出願番号):特開2000-232132
特許番号:特許第4026102号
出願日: 1999年02月12日
公開日(公表日): 2000年08月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 多数の半田ボールが貯留された半田ボール供給部と、複数個の半田ボール吸着穴が下面に形成されたマウントヘッドと、ワークを位置決めするワーク位置決め部とを備え、半田ボール供給部の半田ボールをマウントヘッドに吸着し、マウントヘッドをワーク位置決め部に対して相対移動させてワークへ半田ボールを搭載する半田ボールマウント装置の制御方法において、マウントヘッドが半田ボールを吸引吸着してからマウントヘッドの真空吸引流量を少なくした後、ワークに半田ボールを搭載するまでの間に、マウントヘッド下面に付着した余剰ボールを負圧源に接続された余剰ボール除去手段により吸引して除去することを特徴とする半田ボールマウント装置の制御方法。
IPC (2件):
H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H01L 23/12 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 23/12 L
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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