特許
J-GLOBAL ID：201103074661879936

固体撮像装置及び撮像システム

発明者：
澤山 忠志

澤山 忠志 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-026532
公開番号（公開出願番号）：特開2011-233862
出願日： 2011年02月09日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：
【課題】混色やノイズの低減に有利な技術を提供する。【解決手段】複数の光電変換素子を含む半導体基板を有する固体撮像装置は、前記半導体基板の上に配され、前記複数の光電変換素子の上にそれぞれ配された複数の開口部を有する第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有し、前記複数の開口部にそれぞれ配された複数の絶縁体と、前記複数の絶縁体の上面および前記第1の絶縁膜の上面の上に配された第2の絶縁膜と、前記第2の絶縁膜の屈折率よりも低い屈折率を有し、前記第2の絶縁膜の上面に接して配された第3の絶縁膜と、を備え、前記複数の絶縁体に入射する光の波長をλ、前記第2の絶縁膜の屈折率をn、前記第1の絶縁膜の上面の少なくとも一部の領域の上における前記第2の絶縁膜の膜厚をtとしたときに、t<λ/nの関係を満たす。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の光電変換素子を含む半導体基板を有する固体撮像装置であって、 前記半導体基板の上に配され、前記複数の光電変換素子の上にそれぞれ配された複数の開口部を有する第1の絶縁膜と、 前記第1の絶縁膜の屈折率よりも高い屈折率を有し、前記複数の開口部にそれぞれ配された複数の絶縁体と、 前記複数の絶縁体の上面および前記第1の絶縁膜の上面の上に配された第2の絶縁膜と、 前記第2の絶縁膜の屈折率よりも低い屈折率を有し、前記第2の絶縁膜の上面に接して配された第3の絶縁膜と、を備え、 前記複数の絶縁体に入射する光の波長をλ、前記第2の絶縁膜の屈折率をn、前記第1の絶縁膜の上面の少なくとも一部の領域の上における前記第2の絶縁膜の膜厚をtとしたときに、t<λ/nの関係を満たす、 ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/369 ,  H04N 5/357 ,  H04N 9/07
FI (4件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 690 ,  H04N5/335 570 ,  H04N9/07 A
Fターム (28件)：
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CA09 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118GA08 ,  4M118GA09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD11 ,  4M118GD15 ,  5C024AX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX42 ,  5C024EX52 ,  5C065BB19 ,  5C065DD01 ,  5C065EE11
引用特許：
審査官引用 (7件)
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