特許
J-GLOBAL ID：200903082081586588
固体撮像素子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-320920
公開番号（公開出願番号）：特開2004-221532
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】導波路を構成する光透過性材料の埋め込み性を改善して、集光効率の向上を図り、また固体撮像素子の信頼性を確保する。【解決手段】光を受光して光電変換を行う受光部1と、その受光部1を備えた基体上を覆う絶縁膜5中に形成された光透過性材料からなる導波路20とを具備し、前記導波路20が外部からの入射光を前記受光部1まで導くように構成された固体撮像素子において、前記導波路20に、光の入射方向から見た平面形状の大きさが当該光の入射側の面から前記受光部側に向けて小さくなる順テーパー形状部を設ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光を受光して光電変換を行う受光部と、該受光部を備えた基体上を覆う絶縁膜中に形成された光透過性材料からなる導波路とを具備し、前記導波路が外部からの入射光を前記受光部まで導くように構成された固体撮像素子において、
前記導波路は、光の入射方向から見た平面形状の大きさが当該光の入射側の面から前記受光部側に向けて小さくなる順テーパー形状部を有している
ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
4M118AB01
, 4M118BA09
, 4M118CA02
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118EA01
, 4M118EA14
, 4M118FA06
, 4M118FA08
, 4M118FA28
, 4M118FA33
, 4M118GA07
, 4M118GA09
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AX01
, 5C024CY47
, 5C024EX43
, 5C024EX52
出願人引用 (8件)
-
固体撮像装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-105902
出願人：ソニー株式会社
-
固体撮像素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-256708
出願人：富士フイルムマイクロデバイス株式会社, 富士写真フイルム株式会社
-
オンチップマイクロレンズを備えた固体撮像装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-205632
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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審査官引用 (6件)
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