多機能形真空バルブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀口浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-114597
公開番号（公開出願番号）：特開2001-297665
特許番号：特許第3810050号
出願日： 2000年04月17日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内部が真空の絶縁容器内に軸方向に互いに接離するように夫々の電極軸に対向して設けた一対の主電極と、前記絶縁容器の軸方向中間部に設けられ絶縁容器外に電気的に導出される中間電極と、前記主電極の一方の外周に設けられこの主電極の軸方向移動により円周方向に広がる複数枚の単位電極板を有する電極板とを有し、前記電極板を備えた主電極の電極軸の第1の操作により前記主電極間を接離し、第2の操作により前記単位電極板を円周方向に広げ前記中間電極に接触するようにしたことを特徴とする多機能形真空バルブ。

IPC (1件)：