特許
J-GLOBAL ID：201103078817121120
マイクロレンズアレイの形成方法およびマイクロレンズアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
阿仁屋 節雄
, 油井 透
, 清野 仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-040357
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241607
特許番号：特許第4293664号
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 透明な基板に複数の微小な凹状部を形成する凹状部形成工程と、該凹状部形成工程によって形成された凹状部に前記基板の屈折率よりも高い屈折率を有する充填物質を充填してレンズ部を形成するレンズ部形成工程とを有し、
前記凹状部形成工程は、複数の微小な転写用凹状形状を有する転写層を前記基板上に形成する転写層形成工程と、該転写層の形状を基板に転写して基板に複数の微小な凹状部を形成する転写工程とを有し、
前記転写層形成工程が、マイクロレンズアレイの配列に対応して壁状物を前記基板上に形成し、前記壁状物の間に液状物を供給して転写用凹状形状を有する転写層を形成する工程を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの形成方法。
IPC (2件)：
G02B 3/00 ( 200 6.01)
, B29D 11/00 ( 200 6.01)
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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