特許
J-GLOBAL ID：201103079013409934

石英系光導波路及びその製造方法

発明者：
佐々木 隆

佐々木 隆 について

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平井 茂

平井 茂 について

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赤坂 伸宏

赤坂 伸宏 について

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田中 茂

田中 茂 について

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広瀬 智財

広瀬 智財 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 中野 稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-156269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264563
特許番号：特許第3551895号
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上にコア導波路が形成され、該コア導波路を覆うように前記基板上に屈折率低下用ドーパント及び屈折率上昇用ドーパントが添加された石英系ガラスからなる上部クラッド部が形成された石英系光導波路において、前記上部クラッド部の前記基板及び前記コア導波路に接する部分に、前記屈折率上昇用ドーパントの濃度が前記上部クラッド部の表面よりも高くなった偏析層が形成されており、前記屈折率上昇用ドーパントによる前記上部クラッド部の偏析層以外の部分に対する該偏析層の屈折率の上昇分が、該偏析層において添加された前記屈折率低下用ドーパントの添加量の増加又は/及び別の屈折率低下用ドーパントの添加による屈折率の低下によって相殺され、前記上部クラッド部の屈折率分布が厚み方向でほぼ均一であることを特徴とする石英系光導波路。
IPC (2件)：
G02B 6/122 ,  G02B 6/13
FI (2件)：
G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (4件)
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